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近年来，无尘车间为了保证一定的环境湿度，在规定范围中保持处理空气过程，使我们必需承担资金和运营成本。但是为什么值得花费这么多钱用在无尘车间、洁净室中控制相对湿度呢？道理很简单！因为相对湿度有一系列可能使洁净室总体表现下降的因素，其中包括：
1、细菌生长；细菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨虫)在相对湿度过60%的环境中可以活跃地繁殖。一些菌群在相对湿度过30%时就可以增长。在相对湿度处于40%至60%的范围之间时，可以使细菌的影响以及呼吸道感染降至zui低。
2、工作人员感到室温舒适的范围；相对湿度在40%至60%的范围同样也是人类感觉舒适的适度范围。湿度过高会使人觉得气闷，而湿度低于30%则会让人感觉干燥，皮肤破裂，呼吸道不适以及情感上的不快。
3、出现静电荷；高湿度实际上减小了无尘车间、洁净室表面的静电荷积累──这是大家希望的结果。较低的湿度比较适合电荷的积累并成为潜在的具有破坏性的静电释放源。当相对湿度过50%时，静电荷开始迅速消散，但是当相对湿度小于30%时，它们可以在绝缘体或者未接地的表面上持续存在很长一段时间。相对湿度在35%到40%之间可以作为一个令人满意的折中，半导体无尘车间、洁净室一般都使用额外的控制装置以限制静电荷的积累。
4、金属腐蚀；很多化学反应的速度，包括腐蚀过程，将随着相对湿度的增高而加快。所有暴露在无尘车间、洁净室周围空气中的表面都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些表面是由可以与水反应的薄金属涂层组成时，高湿度可以使反应加速。幸运的是，一些金属，例如铝，可以与水形成一层保护型的氧化物，并阻止进一步的氧化反应；但另一种情况是，例如氧化铜，是不具有保护能力的，因此，在高湿度的环境中，铜制表面更容易受到腐蚀。
5、水汽冷凝；在相对湿度较高的环境中，浓缩水形的毛细管力在颗粒和表面之间形成了连接键，可以增加颗粒与硅质表面的黏附力。这种效应——凯尔文浓缩——当相对湿度小于50%时并不重要，但当相对湿度在70%左右时，就成为颗粒之间黏附的主要力量。
6、光刻的退化；到目前为止，在半导体无尘车间、洁净室中zui迫切需要适当控制的是光刻胶的敏感性。由于光刻胶对相对湿度极为敏感的特性，它对相对湿度的控制范围的要求是zui严格的水准。
干燥的季节，在无尘车间内，静电和粉尘的危害是直接造成无尘车间工业产品出现各种不良后果。现在通过使用工业加湿机将空气湿度提升，即保证了产品的出厂品质，人们感觉舒适，静电也消失了、因此，洁净加湿成为无尘车间环境控制的必然要求。
